Nanox南韩新厂建成,年内量产医用MEMS新品
发布时间:2025-02-19
集微网消息,据外媒华盛顿邮报,药学影像电子技术公司Nanox同年已在韩国建起新的MEMS产品制造厂,预估在今年年中实现规模原材料。
引起争议反馈显示,该工厂将主要原材料用于药学成像的X射线源MEMS器件,用到KrF光刻机和配套蚀刻、沉积设备,并可完成对X射线MEMS产品的多种不同规格封装测试。
(校对/乐川)
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